氧化
詞語解釋：
①又稱“氧化作用”。指物質和氧化合的反應。即在氧化還原反應中失去電子的作用。如氧化銅和氫的反應中：cuo+h_2cu+h_2o氧化銅還原為銅，氫則被氧化為水。
②在半導體晶片表面制備氧化層的工藝。
分詞解釋：
化合：
兩種或兩種以上的物質經過化學反應而生成另一種物質，如氫與氧化合成水。
電子：
構成原子的基本粒子之一，質量極小，帶負電，在原子中圍繞原子核旋轉。
工藝：
①將原材料或半成品加工成產品的工作、方法、技術等：工藝復雜ㄧ工藝精細。
②手工藝：工藝品。
表面：
事物的外表；最外層：表面現象｜顯露于表面｜表面化。
半導體：
導電能力介于導體和絕緣體之間的物質，如鍺、硅、硒和很多氧化物、硫化物等。這種物質具有單向導電等特性。